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国产光刻胶获重大突破

时间:2026/05/13

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5 月 12 日消息,国产半导体产业链自主化再获关键突破。上海 AI 实验室牵头的联合攻关团队,成功攻克芯片制造核心材料高端光刻胶稳定制备难题。

上海 AI 实验室通过官方公众号披露,光刻胶是芯片制造最关键的基础材料之一,其纯度、均匀度直接决定芯片性能与量产良率,

长期以来是我国半导体产业 "卡脖子" 的核心环节。

本次突破依托 "2030 新一代人工智能" 国家科技重大专项部署。上海 AI 实验室联合厦门大学、苏州国家实验室等单位,

基于书生科学大模型与书生科学发现平台,构建了 "AI 决策 + 自动化合成" 全闭环研发体系,

最终实现高纯度、高一致性 KrF 光刻胶树脂的完全自主创制

这一核心技术突破,彻底打破了高端光刻胶树脂稳定制备长期依赖极少数海外供应商 "黑箱技术" 的被动局面,

为全球芯片材料领域探索出一条可标准化落地、支持技术快速迭代的全新研发范式。

目前,这套自主研发平台已完成多批次自动化合成与性能验证,不同批次光刻胶树脂的产品一致性实现了历史性提升。

厦门恒坤新材料凭借多年光刻胶配方开发经验,已顺利完成自研树脂与终端应用配方的适配,所有产业关键指标均达到设计要求,

后续产品将正式进入下游芯片制造厂商的验证阶段。

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