台积电回应氦气紧缺
3月14日消息,近期全球局势动荡,不仅冲击石油、天然气等能源供应,也波及半导体行业关键材料——氦气。
全球晶圆代工龙头台积电就氦气短缺问题回应称,目前对运营无重大影响,但会持续密切关注局势。
半导体制造对特种气体依赖极高,氦气便是关键材料之一。其沸点低至-268.9℃,化学性质极稳定,导热与渗透性能优异。
在芯片生产中,氦气广泛用于光刻机、离子注入机冷却,同时充当晶圆清洗与刻蚀环节的保护气体,对制程稳定至关重要。
据行业数据,3–7nm制程单颗晶圆氦气消耗量约120升,3nm以下先进工艺则增至150升,对气体纯度要求也同步大幅提升。
氦气主要伴生于天然气开采,资源高度集中:
美国储量占全球约40%,位居第一;
中东卡塔尔为全球第二大产地,年产量约6000万立方米,占全球近1/3,也是我国氦气进口的主要来源。目前来自美国的进口占比已处于极低水平。
