拒日本卡脖子,SK海力士推进EUV光刻胶国产化
12月7日消息,此前日本拟断供光刻胶的传闻引发行业关注,尽管日方已否认,但光刻胶领域“日本主导”的格局仍未改变,尤其先进EUV光刻胶,目前核心技术
仍由日本JSR、信越化学、东京应化TOK等企业掌控。
早年前日韩贸易争端期间,日本曾暂停对韩出口光刻胶等三类关键半导体材料。此后韩国持续推进半导体核心技术与材料国产化,不过外界传言“韩国已解决
EUV光刻胶自主”并非事实——所谓“突破”实则是日本企业为规避政策限制,将供货主体从本土转为海外公司,三星、SK海力士等韩企仍依赖日本EUV光刻胶供应。
与三星不同,SK海力士主营存储芯片,此前对EUV光刻胶需求有限,但随着内存工艺持续升级,EUV光刻已成为刚需。为此,SK海力士联合韩国东进世美肯公司
合作开发EUV光刻胶,目标不仅是实现对日本产品的替代,更要在性能上实现超越。
双方重点攻关光刻胶的光敏性指标,光敏性越强,曝光时间越短,生产效率越高。即便搭载同款EUV光刻机,高性能光刻胶也能显著提升产能。当前内存芯片工艺
已逼近10nm及以下,EUV光刻层数持续增加,第七代1d工艺已需7层EUV光刻,且未来层数还将进一步提升,这也让自主EUV光刻胶的研发更具紧迫性。