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FEL 亮剑,冲击 EUV

时间:2026/08/10

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8 月 10 日消息,媒体披露 SpaceX 官宣携手特斯拉,斥资 168 亿美元于美国得州联手打造 Terafab 芯片工厂。

有博主结合工厂公示信息分析,马斯克或将采用自由电子激光(FEL)技术,对标阿斯麦 LPP EUV 光源方案,打破现有 EUV 光刻技术垄断。

马斯克随后在社交平台留下 “FEL FTW”,加之 Terafab 狭长式厂房布局,也佐证了外界关于 FEL 路线的猜想。

FEL 凭借高功率、高相干、波长可调、能效出众等特质,理论可把光刻光源从现行 13.5nm 缩短至 6nm 甚至更低,延续摩尔定律发展周期,

引得业界广泛探讨。但该项技术落地商业化阻碍重重,巨型加速器设备、巨额建厂开支、量产稳定性问题,都是亟待攻克的难关。

依照 SpaceX 官方说明,Terafab 覆盖先进逻辑芯片、存储芯片制造及封测全链条,用以加快芯片迭代落地,

为 SpaceX 航天算力需求搭建自主可控的芯片供应链。

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