6 月 20 日讯，美国政府近期公开指控荷兰阿斯麦（ASML）涉嫌暗中向中国输送顶尖 EUV 光刻机，阿斯麦随即全盘否认相关质疑。

美国商务部长霍华德・卢特尼克已就此向阿斯麦管理层质询，美方担忧企业违反出口管制，致使 EUV 设备流入国内，

助推我国先进芯片制造技术实现突破。美方官员称手中掌握线索，证明阿斯麦曾对华交付可转运 EUV 光刻机的配套装置，

但以信息涉密为由，拒绝公开任何实质证据。

依照《瓦森纳协定》相关约束，阿斯麦严禁向中国提供 EUV 整机与相关核心技术。国内仅中芯国际曾订购一台 EUV 光刻机，

该设备至今仍留存荷兰，并未交付入境。

阿斯麦直言美方指控毫无事实依据，且对企业声誉造成严重负面影响。其发言人表示，近年来多次出现同类不实传言，

公司均逐一辟谣，虚假信息严重损害品牌形象。

阿斯麦同时表态，能够理解欧美各国对中国先进制程发展的顾虑，但企业从未向中国出口任何 EUV 设备。

公司业务始终受《瓦森纳协定》及美荷两国叠加出台的出口管制法规约束，合规标准清晰明确。官方补充，

阿斯麦长期与各国监管机构保持透明沟通，充分尊重各国出于国家安全出台的管控政策；每当管制规则更新，企业都会同步调整业务流程，

确保所有经营行为完全合规。

阿斯麦内部公示数据显示，全球在役 EUV 光刻机共计 314 台，另有 26 台设备已退役，全部设备均不在中国大陆地区。

同时所有 EUV 设备会持续与阿斯麦后台联网，系统可实时监控设备离线、异常操作、通讯中断等风险行为。

除此之外，EUV 设备的运输、拆解与重装有着严苛专业流程，缺少原厂官方技术支持，客户无法私自拆解、转运并重新组装设备。

从硬件层面来看，单台 EUV 光刻机包含数十万零部件，整机重达 180 吨，运输时需拆分多架次空运，不存在隐秘转运的可能；

也无法依靠零散备件、报废部件拼凑整机，更难以通过拆解零部件完成逆向仿制。