5 月 19 日，央视财经《对话》栏目聚焦我国半导体设备突围之路，“中国刻蚀机之父” 尹志尧与中芯国际创始人张汝京同台，

分享国产刻蚀设备从零起步、攻坚克难的发展历程。张汝京透露，中芯国际已累计向中微半导体采购至少 800 台刻蚀机。

60 岁时，尹志尧放弃美国百万年薪毅然归国。此前他深耕泛林、应用材料等国际半导体巨头二十余年，手握数百项核心专利。

2004 年创办中微半导体，他定下严苛准则：全体员工不得携带任何海外技术文件，以空白设备从零开启自主研发之路。

历经 22 年潜心攻坚，如今中微公司市值突破 2714 亿元。其自研刻蚀设备覆盖 65nm 至 3nm 全制程节点，

成功切入台积电 5nm、3nm 先进制程供应链，一举打破海外三大巨头长期垄断刻蚀机市场的格局。

在国际巨头的技术壁垒中实现突破，核心源于中微始终坚守原始创新。尹志尧介绍，公司首创的甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，

问世三年便被泛林、应用材料、东京电子悉数借鉴，目前全球所有 CCP 刻蚀机均沿用该项技术。

此外，中微独创双台机设计，可同步完成两片硅片刻蚀，材料成本节约超 30%，性能优于海外竞品，定价更具优势。

中芯国际是中微刻蚀机的首个量产客户。谈及国产设备试用，张汝京直言，全新设备落地必然伴随风险，因此采用小批量逐步测试模式，

从 5 片、25 片到 50 片、100 片，长期稳步推进，双方共担责任。

“中微设备初期由其投资方承担成本，我们负责芯片测试与时间成本，磨合成功后收益可观。” 他强调，国货唯有被使用才能迭代进步，

不落地实操就无法发现问题、优化升级，不能因初期试用不佳就轻言放弃。

2023 年 12 月，中微布局此前 17 类工艺设备完全依赖进口的大平板设备赛道，仅耗时 18 个月便完成研发并通过客户产线验证，

远快于行业 3 至 7 年的常规研发周期。

尹志尧表示，中微坚决摒弃简单技术复刻，坚持自主原始创新，这才是中国半导体设备产业立足行业的根本。