蔡司:EUV 仍需十五年
9 月 3 日消息,EUV 光刻机光学元件独家供应商德国蔡司半导体负责人 Frank Rohmund 在采访中预判,中国造出 EUV 光刻机大概还需 15 年,
同时坦言国内实际研发进度难以量化。
ASML 是全球唯一 EUV 光刻机厂商,该设备是制造高端 AI 芯片的核心,美国以此为抓手实施对华芯片出口限制,
还在推动管制范围扩大至全部 DUV 光刻机。
Rohmund 认为,进一步加码管制对行业弊大于利,并不会达到预期效果,反而会倒逼中国加速技术自主创新,
这一观点和 ASML CEO 此前看法相近。他也认可国内在浸润式 DUV 上已有突破,相关研发积累历经数十年,
但同时表示双方技术差距依旧显著,国产设备实际性能仍有待观察。
蔡司供应全球近八成芯片所用光学元件,ASML 在 2017 年斥资 10 亿欧元收购了蔡司半导体的少数股权。
